cascade探针台介绍

cascade探针台介绍

‌CASCADE探针台是一种用于电子与通信技术领域的电子测量仪器，特别适用于大规模集成电路测试。 它于2009年12月18日启用，产地为‌美国。该探针台具备以下关键特点和性能指标：探针配置：CASCADE探针台拥有4个探针，支持8英寸直径载盘，具备半自动的XY移动功能，通过马达驱动，分辨率可达1μm，精度和重复性分别小于或等于2.5μm和2μm。此外，它还具有半自动Z轴行程5mm，手动Z轴不可移动，以及Theta轴行程±5.5°和±5.7°的可选手动操作。配置选项：该探针台可以配置‌电子数码显微镜（eVue）、‌A-Zoom、‌体式显微镜等，提供微暗室，有效实现电磁屏蔽、光屏蔽和噪声屏蔽。技术特点：CASCADE探针台支持‌Contact Intelligence™技术，这是一种创新技术，能够检测环境变化并作出反应，以优化探针接触准确度，从而实现自主型半导体测试。此外，CASCADE探针台还具备增高隔离电阻和介电强度，能够在高电压（3000V）条件下提供完整的三轴能力，完成低漏电测量。它还支持‌高压防电弧探针卡，适用于晶圆上功率器件的特性测试，提供安全便捷的集成套件，支持TIPS高压防电弧探针卡。此外，它还具备高级MicroVac卡盘，防止薄晶圆片发生卷曲和折断，提供准确的Rds(on)测量和UIS测量，操作安全。CASCADE探针台还提供了无缝集成和使用方便的连接套件，与来自Keysight Technologies和其他主要供应商的功率器件分析仪实现简单和安全的系统集成。它还具备高低温测试功能，温度范围从-60℃到300℃，与其他系统相比，CDA消耗降低25%，温度迁移效率比市场上其他系统快15%。综上所述，CASCADE探针台以其先进的技术和广泛的应用支持，在电子测量领域中扮演着重要角色。‌